Đối tác

Nano Master

Ngày đăng: 19-06-2014 | Lượt xem: 898

Thành lập năm 1992, Nano Master có 20 năm kinh nghiệm trong việc sản xuất các thiết bị và công cụ trong lĩnh vực màng mỏng. Sản phẩm của Nano Master được dùng trong các lĩnh vực: Semiconductor, MEMS, Optoelectronics, Nanotechnology and Photovoltaic

Thành lập năm 1992, Nano Master có 20 năm kinh nghiệm trong việc sản xuất các thiết bị và công cụ trong lĩnh vực màng mỏng. Sản phẩm của Nano Master được dùng trong các lĩnh vực: Semiconductor, MEMS, Optoelectronics, Nanotechnology and Photovoltaic

Các sản phẩm chính:

- Quy trình làm sạch chất cảm quang, quy trình ăn mòn bằng phương pháp ướt / Cleaning, Resist Processing & Wet Eatching .

- Hệ thống phún xạ / Sputtering system.

- Hệ thống bốc bay chùm điện tử / E-Beam Evaporation

- Hệ thống bốc bay nhiệt / Thermal Evaporation.

- Reactive Ion Eatching (RIE)

- Hệ thống lắng đọng hơi hóa học tăng cường Plasma / Plasma enhanced chemical vapor deposition PECVD

- Plasma Assisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition PA-MOCVD

- Atomic Layer Deposition system

- Hệ thống làm sạch bằng Plasma / Plasma Cleaner.